產品介紹
Products
產品特點
- 定量吐出泵廣泛用於半導體、平板顯示器（FPD）、電池和試劑等製程。由客戶端應用的需求，可選擇合適的驅動方式或泵的類型。
- 本產品之接液部是由鐵氟龍組成，可承受多種藥液。
- 其結構中無滑動部位，可避免顆粒的產生。
- 無需日常維護，可實現高重複精度的定量吐出。
- 步進馬達驅動，可數位化控制吐出量。
產品規格
| 型號 | 驅動類型 | 流體性質 | 吐出量 | 最大吐出壓力 | 耐壓 |
|---|---|---|---|---|---|
| F-EPP05-7W | 步進馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 0.1 ~ 5.0 ml | Max. 0.2 MPa | 0.3 MPa |
| F-EPP10-2W | 步進馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 0.1 ~ 10.0 ml | Max. 0.2 MPa | 0.3 MPa |
| F-EPP50-3W | 步進馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 2 ~ 50 ml | Max. 0.3 MPa | 0.4 MPa |
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