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KOGANEI_F-EPP

電動PT泵

  • 品         牌 KOGANEI 小金井株式會社
產品特點
  • 定量吐出泵廣泛用於半導體、平板顯示器(FPD)、電池和試劑等製程。由客戶端應用的需求,可選擇合適的驅動方式或泵的類型。
  • 本產品之接液部是由鐵氟龍組成,可承受多種藥液。
  • 其結構中無滑動部位,可避免顆粒的產生。
  • 無需日常維護,可實現高重複精度的定量吐出。
  • 步進馬達驅動,可數位化控制吐出量。
產品規格
型號驅動類型流體性質吐出量最大吐出壓力耐壓
F-EPP05-7W步進馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
0.1 ~ 5.0 mlMax. 0.2 MPa0.3 MPa
F-EPP10-2W步進馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
0.1 ~ 10.0 mlMax. 0.2 MPa0.3 MPa
F-EPP50-3W步進馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
2 ~ 50 mlMax. 0.3 MPa0.4 MPa
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定量吐出泵_C
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