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KOGANEI_F-EPH

電動CT / PT / HT泵

  • 品         牌 KOGANEI 小金井株式會社
產品特點
  • 定量吐出泵廣泛用於半導體、平板顯示器(FPD)、電池和試劑等製程。由客戶端應用的需求,可選擇合適的驅動方式或泵的類型。
  • 本產品之接液部是由鐵氟龍組成,可承受多種藥液。
  • 其結構中無滑動部位,可避免顆粒的產生。
  • 無需日常維護,可實現高重複精度的定量吐出。
  • 搭載AC伺服馬達,提高流量控制性。
產品規格
型號驅動類型流體性質吐出量最大吐出壓力耐壓
F-EPT30AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
3 ~ 30 mlMax. 0.05 MPa0.1 MPa
F-EPT60AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
6 ~ 60 mlMax. 0.05 MPa0.1 MPa
F-EPT100AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
10 ~ 100 mlMax. 0.05 MPa0.1 MPa
F-EPT200AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
20 ~ 200 mlMax. 0.05 MPa0.1 MPa
F-EPT300AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
30 ~ 300 mlMax. 0.05 MPa0.15 MPa
F-EPP200AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
20 ~ 200 mlMax. 0.05 MPa0.1 MPa
F-EPP300AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
30 ~ 300 mlMax. 0.07 MPa0.1 MPa
F-EPH200AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
20 ~ 200 mlMax. 0.1 MPa0.15 MPa
F-EPH300AC 伺服馬達光阻劑、純水、化學溶液
(不可燃)
30 ~ 300 mlMax. 0.1 MPa0.15 MPa
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