產品介紹
Products
產品特點
- 定量吐出泵廣泛用於半導體、平板顯示器（FPD）、電池和試劑等製程。由客戶端應用的需求，可選擇合適的驅動方式或泵的類型。
- 本產品之接液部是由鐵氟龍組成，可承受多種藥液。
- 其結構中無滑動部位，可避免顆粒的產生。
- 無需日常維護，可實現高重複精度的定量吐出。
- 搭載AC伺服馬達，提高流量控制性。
產品規格
| 型號 | 驅動類型 | 流體性質 | 吐出量 | 最大吐出壓力 | 耐壓 |
|---|---|---|---|---|---|
| F-EPT30 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 3 ~ 30 ml | Max. 0.05 MPa | 0.1 MPa |
| F-EPT60 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 6 ~ 60 ml | Max. 0.05 MPa | 0.1 MPa |
| F-EPT100 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 10 ~ 100 ml | Max. 0.05 MPa | 0.1 MPa |
| F-EPT200 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 20 ~ 200 ml | Max. 0.05 MPa | 0.1 MPa |
| F-EPT300 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 30 ~ 300 ml | Max. 0.05 MPa | 0.15 MPa |
| F-EPP200 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 20 ~ 200 ml | Max. 0.05 MPa | 0.1 MPa |
| F-EPP300 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 30 ~ 300 ml | Max. 0.07 MPa | 0.1 MPa |
| F-EPH200 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 20 ~ 200 ml | Max. 0.1 MPa | 0.15 MPa |
| F-EPH300 | AC 伺服馬達 | 光阻劑、純水、化學溶液 (不可燃) | 30 ~ 300 ml | Max. 0.1 MPa | 0.15 MPa |
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