TAKEX 真空光纖感測器｜法蘭連接・真空槽精密檢測

TAKEX 真空用光纖系列 針對真空設備內的非接觸式物體檢測，提供光纖導入式、法蘭連接式、直式與彎頭型光纖單元，並涵蓋透過型與反射型檢測方式。系列另有真空系統使用的中繼法蘭與連接元件，可依真空設備結構、檢測方式、前端形式及中繼通道需求選型，適合半導體設備、晶圓及真空槽內的物體有無與位置檢測。