產品介紹
Products
產品特點
- 獨特設計：結合妙德先進的氣壓控制技術，實現高精度的氣浮搬運解決方案。
- 穩定的浮上精度：在玻璃運送至曝光與檢測流程中，實現穩定的浮上特性。
產品規格
| 型號 | 單位 | LTU-☐☐☐CE |
|---|---|---|
| 尺寸 (W x L x H) | mm | 100 x 500 x 45.8 |
| 100 x 750 x 45.8 | ||
| 100 x 1000 x 45.8 | ||
| 使用流體 | 空氣 (非腐蝕，不燃性氣體) | |
| 周圍溫度 | ºC | 0 ~ +50 (但不要凍結) |
| 給油 | 不可 | |
| 額定空氣壓範圍 | kPa | 30 ~ 400 |
| 平面度 | µm | 60 |
| 平行度 | µm | 80 |
備註：
1. 請供應通過5µm以下的空氣過濾器以及0.01µm的油霧分離器的空氣。
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